◆性能特点:
实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。
采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描。
三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测。
电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测。
龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域。
闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。
◆测量范围及应用:
测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case