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开尔文探针力显微镜(Kelvin probe force microscope、KPFM)是一种原子力显微镜,于1991年问世。开尔文探针力显微镜利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力,从而达到检测的目的,具有原子级的分辨率。
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